เทคโนโลยีหลอดนาโนโฟกัสล่าสุด FYNE Tube:
ยกระดับการตรวจสอบชิ้นงานโดยไม่ทำลายไปอีกขั้น ด้วยระบบ FF35 CT

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีนั้นไม่มีที่สิ้นสุด การย่อขนาดของเทคโนโลยีบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง (Advanced Packaging) ซึ่งมี HBM (High Bandwidth Memory)เป็นตัวแทนกำลังก้าวหน้าอย่างรวดเร็ว ส่งผลให้ความท้าทายในการประกันคุณภาพโดยเฉพาะอย่างยิ่งวิธีการตรวจจับข้อบกพร่องภายในที่มองไม่เห็นได้เพิ่มสูงขึ้นอย่างที่ไม่เคยมีมาก่อน

ระบบเอกซเรย์คอมพิวเตอร์แบบสามมิติ (X-ray CT) ระดับไฮเอนด์รุ่น FF35 CT นวัตกรรมนี้พัฒนาโดย Comet Technologies บริษัทเทคโนโลยีชั้นนำระดับโลกจากสวิตเซอร์แลนด์ ซึ่งถือเป็นโซลูชันสำคัญที่จะมาช่วยปลดล็อกทุกความท้าทายในอุตสาหกรรม วันนี้เราจะพาไปเจาะลึกจุดเด่นของ “เทคโนโลยีนาโนโฟกัสล่าสุด” ที่ยกระดับทั้งความละเอียดและความรวดเร็วในการทำงาน (Throughput) ให้ก้าวเข้าสู่ระดับแนวหน้าของวงการ
(*ตั้งแต่วันที่ 30 มีนาคม 2026 เป็นต้นไป ชื่อจดทะเบียนของบริษัทในเยอรมนีได้เปลี่ยนเป็น “Comet Technologies Germany GmbH” อย่างไรก็ตาม โซลูชันระบบ X-ray และ CT จะยังคงดำเนินต่อไปภายใต้แบรนด์ “Comet Yxlon” ที่ได้รับความไว้วางใจเช่นเคย)

เทคโนโลยี Nanofocus X-ray CT ในปัจจุบันมีความสำคัญอย่างไร?

ตัวอย่างเช่น ภายในแพ็กเกจ HBM เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 มม. x 8 มม. มี Microbump ขนาด Φ25µm และ TSV (Through-Silicon Via) ขนาด Φ5µm เรียงตัวกันอย่างหนาแน่น ด้วยระบบ X-ray CT ทั่วไป การแยกแยะและสังเกตหาโพรงอากาศ (Void) รอยร้าว (Crack) หรือความล้มเหลวในการเชื่อมต่อในโครงสร้างจุลภาคเหล่านี้ได้อย่างชัดเจนนั้นถือเป็นเรื่องที่ยากลำบากอย่างยิ่ง

ความสำคัญที่แท้จริงของ FF35 CT จาก Comet นั้นอยู่ที่รายละเอียด ด้วยการใช้หลอดนาโนโฟกัสขนาด 160kV รุ่นใหม่ FYNE Tube ทำให้สามารถแสดงรายละเอียดได้อย่างชัดเจนถึง 0.6µm (600nm) ช่วยให้มองเห็นและตรวจวัดโครงสร้างสายไฟขนาดเล็กและข้อบกพร่องภายใน Bump ที่เคยซ่อนเร้นได้อย่างชัดเจนอย่างสม่ำเสมอ

รายละเอียดของหลอดนาโนโฟกัส 160kV รุ่นใหม่ FYNE Tube

FYNE Tube (FYT-160.NFX1.600) เจาะลึกหัวใจดวงใหม่ของเครื่อง FF35 CT กับ FYNE Tube (รุ่น FYT-160.NFX1.600) :ซึ่งเป็นหลอดเอกซเรย์นาโนโฟกัสแบบเปิด (Open-type) เจเนอเรชันล่าสุด ขนาด 160kV ที่ขับเคลื่อนด้วยตัวปล่อยประจุ LaB6 (Lanthanum Hexaboride) นวัตกรรมที่ล้ำสมัยที่สุดในเวลานี้ เพราะเรารู้ดีว่าความท้าทายสูงสุดในการตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ คือการบาลานซ์ 2 ความต้องการที่มักสวนทางกันเสมอ ทั้ง “ความละเอียดขั้นสุด” เพื่อดักจับจุดบกพร่องขนาดเล็กจิ๋ว และ “ความเสถียรในระยะยาว” เพื่อรักษากำลังการผลิตของโรงงานให้วิ่งฉลุย ซึ่ง FYNE Tube ถูกออกแบบมาเพื่อปลดล็อกโจทย์ยากนี้ได้อย่างสมบูรณ์แบบ

หากเป็นหลอดรังสีเอกซ์ทั่วไป ผู้ใช้งานต้องเลือกระหว่าง “หลอดแบบเปิด (Open Tube)” ที่ให้ความละเอียดสูงแต่ต้องการการบำรุงรักษาบ่อยครั้ง เช่น การเปลี่ยนฟิลาเมนต์ หรือ “หลอดแบบปิด (Sealed Tube)” ที่ไม่ต้องบำรุงรักษาแต่มีขีดจำกัดด้านความละเอียด อย่างไรก็ตาม FYNE Tube ได้ทลายขีดจำกัดระหว่างทั้งสองด้วยการออกแบบที่ปฏิวัติวงการ ประсบความสำเร็จในการผสาน “ความละเอียดสูงที่น่าทึ่งของหลอดแบบเปิด” เข้ากับ “ความเสถียรและการบำรุงรักษาต่ำในระดับเดียวกับหลอดแบบปิด” สิ่งนี้ช่วยลดเวลาหยุดทำงาน (Downtime) ในกระบวนการตรวจสอบให้เหลือน้อยที่สุด พร้อมทั้งให้ข้อมูลเชิงลึกในระดับสูงสุดอย่างต่อเนื่อง ส่งผลให้ผลผลิต (Yield) และความน่าเชื่อถือในการรับประกันคุณภาพเพิ่มขึ้นอย่างมาก โดยมีคุณลักษณะเด่นดังต่อไปนี้:

• 
  

  1. จุดโฟกัสที่คมชัดและเอาต์พุตสูง พร้อมความละเอียดเชิงพื้นที่ 0.6µm

  โดดเด่นด้วยเอาต์พุตระดับแนวหน้าในขณะที่ยังคงความละเอียดในระดับนาโน เนื่องจากสามารถได้ภาพที่สว่างและมีเอาต์พุตสูงในขณะที่รักษาขนาดของจุดโฟกัส (Focal Spot) ให้ต่ำกว่า 1 µm ขอบภาพจึงไม่เบลอแม้ในระดับพิกเซลสามมิติที่เล็กกว่าไมครอน (Sub-micron Voxel) มั่นใจได้ในการแสดงภาพรายละเอียดขนาดเล็กได้ถึง 600nm (0.6µm)

• 2. การเบี่ยงเบนจากความร้อน (Thermal Drift) ต่ำเป็นพิเศษ เหมาะสำหรับการสแกนระยะยาว

  การเบี่ยงเบนจากความร้อนซึ่งเป็นความท้าทายทั่วไปในการสแกน CT กำลังขยายสูง จะถูกควบคุมให้อยู่ในระดับที่ต่ำมากด้วยหัวหลอดระบายความร้อนด้วยน้ำ ด้วยความสามารถในการทำงานซ้ำได้อย่างสมบูรณ์แบบ จึงเหมาะสำหรับการตรวจสอบชิ้นงานที่ต้องการการสแกนเป็นเวลานานหรือการทำงานอย่างต่อเนื่อง

• 3. อายุการใช้งานยาวนานและการบำรุงรักษาต่ำ

  มีอายุการใช้งานที่ยาวนาน ช่วยลดความถี่ในการบำรุงรักษาลงได้อย่างมากเมื่อเทียบกับระบบหลอดแบบเปิดทั่วไป สิ่งนี้ช่วยรักษาระดับอัตราการใช้งานเครื่องจักรให้อยู่ในเกณฑ์สูง และช่วยลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ (TCO) ลงได้อย่างมีนัยสำคัญ

เทคโนโลยีปฏิวัติวงการ Zoom Scan

เพื่อทดแทนกำลังขยายสูง (ความละเอียดสูง) จำเป็นต้องนำชิ้นงานเข้าใกล้หลอดรังสีเอกซ์ (Focus) ให้ได้มากที่สุด (ลดระยะ FOD ให้เหลือน้อยที่สุด) อย่างไรก็ตาม การหมุนชิ้นงานที่มีความกว้าง เช่น แผงวงจรพิมพ์ (PCB) อาจทำให้เกิดการชนกับหลอดรังสีเอกซ์ ดังนั้นในอดีต ผู้ใช้งานจึงต้องวางชิ้นงานให้ห่างออกไปเพื่อให้สามารถหมุนได้ (Normal Scan) ซึ่งส่งผลให้สูญเสียความละเอียดไป

ฟังก์ชัน Zoom Scan ของ FF35 CT ช่วยแก้ปัญหานี้ได้ โดยเป็นระบบอัจฉริยะที่ช่วยปรับระยะห่างระหว่างชิ้นงานและแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์โดยอัตโนมัติแบบเรียลไทม์ตามมุมการหมุน โดยจะขยับเข้าใกล้ที่สุดเท่าที่จะทำได้ในมุมที่ปลอดภัย ทำให้สแกนด้วยกำลังขยายสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพแม้กับแผงวงจรพิมพ์ (PCB) ขนาดใหญ่

เพิ่มประสิทธิภาพการวิเคราะห์ด้วย Software Suite

FF35 CT โดดเด่นด้วยซอฟต์แวร์ชั้นนำของอุตสาหกรรมร่วมกับฮาร์ดแวร์ระดับท็อป การใช้ซอฟต์แวร์ 3 มิติบนพื้นฐาน AI อย่าง Dragonfly 3D World ช่วยให้สามารถจัดกลุ่มข้อมูลภาพแยกวัตถุแบบอัตโนมัติ (Automatic Segmentation) ขับเคลื่อนด้วย Deep Learning ซึ่งวิเคราะห์ปริมาตรและพื้นที่ผิวของช่องว่างและโพรงอากาศ (Void) หลายล้านจุดในแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างรวดเร็ว ลดภาระการประมวลผลข้อมูลด้วยตนเองได้อย่างมหาศาล

การติดตั้งและการสนับสนุนในประเทศไทย

เนื่องจากการลงทุนในโรงงานใหม่และการยกระดับอุตสาหกรรมในประเทศไทยกำลังรุดหน้า การติดตั้งระบบตรวจสอบขั้นสูงควบคู่ไปกับเครื่องจักรการผลิตจึงเป็นกุญแจสำคัญสำหรับความสามารถในการแข่งขันในอนาคต หลอดนาโนโฟกัสรุ่นใหม่ FYNE Tube และเทคโนโลยีการสแกนอัจฉริยะที่ติดตั้งบนเครื่อง FF35 CT จะช่วยตอบโจทย์ความท้าทายของลูกค้าในการ “มองเห็นสิ่งที่ไม่เคยเห็น” ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างแน่นอน

ในฐานะตัวแทนจำหน่ายอย่างเป็นทางการของ Comet ในประเทศไทย เรามีความยินดีเป็นอย่างยิ่งที่จะสนับสนุนทุกคำถามเกี่ยวกับการติดตั้งเครื่อง FF35 CT สำหรับบริการหลังการขายและการบำรุงรักษาทางเทคนิค ท่านสามารถมั่นใจได้ด้วยทีมวิศวกรผู้เชี่ยวชาญโดยตรงจากผู้ผลิตของ Comet ที่ประจำการอยู่ในประเทศไทยอย่างถาวร

นอกจากนี้ เรายังยินดีต้อนรับการทดสอบสแกนชิ้นงานตัวอย่างจริงของท่าน หากท่านมีข้อสงสัยหรือคำถามใดๆ เช่น “จะสามารถมองเห็นรอยร้าวขนาดเล็กนี้ได้หรือไม่?” หรือ “จะสามารถรักษาความละเอียดสูงกับขนาดบอร์ดเฉพาะของท่านได้หรือไม่?” โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา